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Tecnologia de Fabricacion de Microcircuitos
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El presente libro describe las características fundamentales de los procesos tecnológicos que se utilizan en la fabricación de dispositivos semiconductores, especialmente los dispositivos de silicio. También analiza aspectos básicos de la física que le sirven de base a los diferentes procesos. Aspectos generales de fabricación, como características de las áreas límpias, pureza requerida en los diferentes materiales y tipos de equipamiento utilizado en los diferentes procesos tecnológicos, también se discuten. El contenido está orientado a estudiantes de las especialidades de Electrónica y Microelectrónica de las facultades de Física y de Ingeniería. Puede ser utilizado también como libro de consulta. El material recoge la experiencia en investigación y docencia de los autores en este campo, por mas de 40 ańos.
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