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Die Überwachung der Ozonkonzentration ist heutzutage sehr wichtig und eine große Herausforderung. Ozon ist ein gesundheitsschädliches Gas, dessen Konzentration stetig zunimmt. Die Überwachung erfolgt jedoch bisher nur sehr eingeschränkt. In dieser Arbeit wird die Entwicklung eines halbleiterbasierenden Ozonsensors vorangetrieben. Dabei liegt der Schwerpunkt auf der Verbesserung der Stabilität des Messsignals.