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Die Dissertation befasst sich mit dem homoepitaktischen Wachstum stickstofffreier sowie mit Nickel bzw. Wolfram dotierter einkristalliner Diamantschichten mittels der Mikrowellenplasma-assistierten chemischen Gasphasenabscheidung (MWPECVD). Mit Hilfe der konfokalen Mikro-Photolumineszenzspektroskopie sowie einem Interferometer nach Hanbury-Brown und Twiss werden die in diesen Schichten erzeugten fluoreszierenden Farbzentren charakterisiert.