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Microtecnología diario de un proceso : fabricación de un microacelerómetro
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El objetivo de este libro es divulgar las técnicas más utilizadas para fabricar microsistemas basados en silicio. La novedad que aporta este trabajo es describir y mostrar detalladamente el proceso de fabricaci ón de un Microsistema en una Sala Blanca. En la primera parte del libr o se hace una introducción teórica a los acelerómetros en general y a los acelerómetros piezorresistivos en particular. En la segunda parte se muestra día a día su proceso de fabricación, en el ôDiario del proc esoö. Para una mayor compresión, esta segunda parte se refuerza con un conjunto de videos, en los cuales se muestran las etapas más importan tes en el proceso de fabricación de microacelerómetros.
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