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Das Ziel dieser Arbeit war die Synthese und strukturelle Charakterisierung von homoleptischen Lanthanoid-tris(guanidinaten) als Precursoren für die Atomlagenabscheidung (ALD) und MOCVD von dünnen Schichten der Seltenerdmetalle. Dabei wurden im Verlauf der Arbeit sechs bisher unbekannte, homoleptische Lanthanoid-tris(guanidinate) synthetisiert. Die entstandenen Verbindungen wurden dann mittels Einkristallröntgenstrukturanalyse, NMR- und IR-Spektroskopie sowie Massenspektrometrie und Messung der Schmelz- und Sublimationspunkte charakterisiert. Dazu wurde das N,N -Diisopropylcarbodiimid mit dem Lithiumaziridinat umgesetzt und das dabei entstandene Lithium(guanidinat) im Anschluss mit den Lanthanoidtrichloriden im Molverhältnis 3:1 versetzt.
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